据国外媒体报道，台积电和三星电子，从阿斯麦购买了大量的极紫外光刻机，用于为苹果、高通等客户代工最新的智能手机处理器。

除了台积电和三星，存储芯片制造商SK海力士，也购进了极紫外光刻机，用于生产相关的芯片。SK海力士已购入极紫外光刻机的消息，源自外媒在报道中提到的M16工厂。报道中表示，SK海力士M16工厂的极紫外光刻机已经安装到位，将用于生产DRAM（动态随机存取存储器），近期已开始试生产1anm的DRAM，预计在今年7月份开始大规模生产。

据SK海力士CEO李锡熙介绍，M16是比较先进的芯片制造工厂，集中了符合ESG（环境、社会和治理）理念的先进设施，例如专门用于EUV设备的车间和最新的污染减排设施。

他还称，M16的竣工也代表着其公司于2015年宣布的“未来愿景”的早期实现。当时，SK海力士宣布将从2014年起在10年内建造三座新工厂，M14和M15分别于2015年和2018年竣工，M16是其“未来愿景”中最后一间工厂。

值得注意的是，SK海力士采购极紫外光刻机，在去年年底的相关报道中就已有体现。去年12月份，包括CEO彼得维尼克在内的阿斯麦多位高管，前往韩国与三星电子、SK海力士公司的高管进行了会面，在SK海力士，同总裁李锡熙(Lee Suk-hee)进行了会谈，消息人士透露他们讨论了扩大极紫外光刻机供应及合作方面的事宜。